Tinggi resistansi resistor dalam proses CMOS

[020170]

Gambar ini menunjukkan bahwa perlawanan Tinggi blokir Salicide Resistor digunakan lapisan.

Perlawanan tinggi Resistor ini terdiri dari Gerbang Poli dengan lapisan Salicide blokir.

Praktis, Hanya Gerbang poli layer dan layer Memblokir Salicide digunakan sebagai Resistor.

Saya tidak Tahu apa peran gerbang Thick Oxide dan Capacitor Poli Layer adalah.

Dalam thoughy, mereka tidak berguna untuk membuat Perlawanan Tinggi Resistor.Mengapa perusahaan Foundry menggunakannya untuk membuat Perlawanan Tinggi Poli Resistor?

 

[elbadry]

Saya pikir poli kapasitor digunakan untuk poli-isolator-poly topi.Ini adalah topi linearitas rendah dengan kepadatan lebih tinggi daripada topi Mim.OX poly tebal diperlukan untuk perangkat tegangan tinggi (perangkat beroperasi dengan pasokan lebih tinggi daripada proses penawaran nominal).Ini biasanya digunakan pada chip antarmuka