PIP kapasitor kapasitor VS MIM

[020170]

di High Voltage Proses CMOS, PIP dan MIM kapasitor yang tersedia.

Jika saya menggunakan kapasitor PIP, biaya akan meningkat karena poly addional PIP memerlukan lapisan.

tapi MIM kapasitor addional tidak memerlukan lapisan.

Menurut pendapat saya, ada perbedaan antara keduanya.

Break tegangan dan Suhu koefisien sama,

Tergantung koefisien tegangan MIM adalah lebih baik daripada PIP.

Tapi buku Teks lebih suka menggunakan kapasitor PIP MIM daripada menggunakan kapasitor.

Apakah ada alasan untuk menjelaskan hal ini?

 

[pit1000]

Tuntutan yang MIM lapisan tambahan.Sepiring atas MIM, sebagai aturan TiN.

 

[020170]

pit1000 wrote:

Tuntutan yang MIM lapisan tambahan.
Sepiring atas MIM, sebagai aturan TiN.

 

[jamesfeng1981]

mim perlu satu lagi lapisan logam terlalu

 

[020170]

Tepatnya, tuntutan MIM lapisan tambahan, tapi bukan biaya addional lapisan.Standar proses sinyal campuran memberikan lapisan tambahan pada dasarnya MIM.

Namun, tuntutan PIP lapisan tambahan juga, juga hal itu menuntut biaya tambahan untuk poly lapisan.

Apakah benar?

Akibatnya, Itu bukan jawaban yang benar MIM topi adalah lebih baik daripada tuntutan MIM PIP karena lapisan tambahan.

Karena kapasitor PIP menuntut additonal lapisan, juga lapisan tambahan biaya

 

[jerryzhao]

Menurut pendapat saya, The MIM kapasitor memerlukan lapisan additonal, juga lapisan tambahan biaya.Lapisan yang MIM perlu melakukan masker.
MIM kapasitor itu jauh dari substrat.ada kurang parasit efek dari kapasitor PIP.
Tapi aku don, t tahu poly2 (PIP atas pesawat) dan MIM lapisan, yang mana biaya lebih besar.

 

[yibinhsieh]

Quote:

Menurut pendapat saya, The MIM kapasitor memerlukan lapisan additonal, juga lapisan tambahan biaya.
Lapisan yang MIM perlu melakukan masker.

MIM kapasitor itu jauh dari substrat.
ada kurang parasit efek dari kapasitor PIP.

Tapi aku don, t tahu poly2 (PIP atas pesawat) dan MIM lapisan, yang mana biaya lebih besar.

 

[mitgrace]

Permisi, Apakah ada yang menggunakan Cap-jari?Dan bagaimana menghitung nilai topi-jari.jika tidak ada tombol desain.

 

[safwatonline]

di topi-jari u melakukan ekstrak itu designthen